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    制程片PL模組



    簡介

    制程片PL檢測模組可應用于制絨、擴散、刻蝕、PECVD工藝后,對過程片進行缺陷檢測。

    可安裝于刻蝕上料、PECVD下料、絲網上料處以及離線設備,結合客戶端現有設備實現剔除。

    采用了特殊定制相機和神經網絡算法相結合,可快速、準確地檢測出缺陷,檢測速率大大提升。

    采用非接觸式的檢測方式,大大降低了在生產電池片各個工藝過程中的碎片率,是分析工藝問題、提高成品率、降低成本必不可少的視覺檢測設備。為產品質量提供了完全可靠的保障。



      


                             過程片

    產品特性

    產能大于4500/小時

    兼容多尺寸片源,更換尺寸無需更換硬件,降低人力及耗材成本

    無接觸式檢測,不會對過程片造成二次損傷

    提前篩選出問題片,節約制造成本                                                                            

    自動統計各類缺陷、良品數量及比例

    適用于制絨、蝕刻、擴散、PECVD等多種工序



    技術指標

    可檢測缺陷:

    隱裂、劃傷、污染、黑斑、吸盤印、皮帶印等

    模塊產能:

    4500p/H

    相機類型:

    高清紅外線掃工業相機

    適用電池片規格

    156210mm(±0.5mm) , 160~200μm


    缺陷對比圖


    PL

     

     

     

     

     


    EL

     

     

     

     

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